X熒光光譜儀有多種，以能量色散和波長(cháng)色散兩類(lèi)為主。

1．能量色散熒光光譜儀

能量色散法是將X射線(xiàn)激發(fā)被測所有元素的熒光簡(jiǎn)單過(guò)濾后，全部進(jìn)入到檢測器中，利用儀器和軟件來(lái)分出其中的光譜。如測的為元素周期表中相鄰的兩個(gè)元素，會(huì )因光譜重疊而產(chǎn)生測量誤差。能量色散型儀器zui大的優(yōu)點(diǎn)是不破壞被測的材料或產(chǎn)品，也不需要專(zhuān)業(yè)人員操作，缺點(diǎn)是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，常可知是不是六價(jià)鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格）。

2．波長(cháng)色散熒光光譜儀。

波長(cháng)法是因其激發(fā)出的熒光足夠強，進(jìn)到儀器中用來(lái)分析的光譜是單一元素（“過(guò)濾”了不需測的元素），不含其它元素的光譜，所以測量數據很準確。這種儀器的靈敏度比能量色散型高一個(gè)數量級，也就是說(shuō)，所測的數據并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構復檢。缺點(diǎn)是，波長(cháng)法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠(chǎng)。如不制成樣本（非破壞），會(huì )因材料表面形狀不同而產(chǎn)生不同誤差。儀器操作也不需要專(zhuān)業(yè)人員。